X熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。